重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
(责任编辑：探索)
OPPO A5 Pro“耐用战神”手机配色官宣，将在12月24日发布
美国原油出口飙升 偷走欧佩克更多份额
三星W25 Flip在官网上线：三星最佳小折叠屏
北京一周5拳收紧楼市 封堵假离婚等“绕道式”买房
卢伟冰：Redmi K80系列全面满足销冠的一系列诉求推荐文章
-
极越发布公告：SIMO将持续正常使用，后续将不定期进行OTA更新
新浪科技讯 12月20日下午消息，极越今日在App发布《极越关于用户关心的问题说明第三次）》。其中提到，SIMO将持续正常使用。SIMO服务所需的云服务、流量、高精定位等先决服务皆稳定正常运行，并将持
...[详细]
-
4月28日，央行以利率招标方式开展了800亿元逆回购操作。其中，400亿元的7天期逆回购操作中标利率2.45%，200亿元的14天期逆回购操作中标利率2.6%，200亿元的28天期逆回购操作
...[详细]
-
近期，银监会频繁下文，10天下发了7个文件，从外部监管到内部操作提出诸多要求，涉及服务实体经济、监管处罚、防控风险、弥补监管短板等多个方面。银监释放出的“强监管”信号，到底会影
...[详细]
-
近日，湖南国企改革表现抢眼，湖南海利涨停，在此带动下，湖南天雁、湖南投资、湖南发展等国企改革概念股跟涨拉升。据了解，近日，湖南省国资委副主任张美诚表示，目前，湖南各相关部门正在制定
...[详细]
-
特斯拉首席设计师揭秘：Cybercab金色涂装致敬纽约黄色出租车
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！特斯拉近日在其创新产品发布会上，再次展示了其前沿技术
...[详细]
-
据新浪财经报道，Alphabet的无人驾驶汽车部门Waymo上周五提交给法院的新文件显示，该公司希望通过禁令方式封杀Uber的无人驾驶汽车。Waymo上月向Uber发起诉讼，现在则
...[详细]
-
同和药业300636申购 最新中签号中签结果出炉根据《 江西同和药业股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市发行公告》，本次股票发行的保荐人(主承销商)国金证券股份有限公司于2017年3月22日上午
...[详细]
-
据3月30日CNBC消息，在欧佩克努力减少对全球市场的原油供应之际，美国的原油生产商们却在增加供应。美国能源信息署EIA）的数据显示，美国上周原油出口量连续第三周突破100万桶/日
...[详细]
-
一加Ace 5 Pro引入旁路充电技术：电池直接供电，大幅降低发热
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！近日，一加科技宣布即将发布一加Ace 5系列两款新机
...[详细]
-
日前，中盐总公司与中国邮政签署战略合作协议，拉开盐业产业链整合序幕。据上证报27日报道，“中盐与中国邮政在市场拓展、资本运作、金融等方面进行全方位合作，将极大增强中盐落实盐业改革方
...[详细]
热点阅读
